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炉前の洗浄
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製品概要
プリアンブルに残った粒子や有機物を除去するために、アニーリング前のシリコンウェハーの洗浄に使用されます。お客様のニーズに応じて、プロセスフローをカスタマイズして、期待される清浄度を実現できます。
中企跨境-全域组件 1.92
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