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最終洗浄機

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最終洗浄機

製品概要

最終出荷前のシリコンウェハーの洗浄に使用され、金属、粒子、出力などの条件を満たすために、顧客のニーズに応じてタンクのプロセスフローがカスタマイズされます。

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製品紹介

製品仕様：

1.適用範囲：8インチ/ 12インチシリコンウェハー
2.プロセスフロー：顧客がカスタマイズしたタンクタイプのバッチ洗浄。
3.容量：技術プロセスによると、100,000?150,000個/月。
4.取り扱い方法：カセット;カセットレス;
5.主な機能タンク：スイングとメガサウンドを備えたSC-1、HF / HCL、O3、QDR、LIFTドライなど。
6.ロードとアンロード：Foup in Foup out、これはOHTに対応できます。
7.機器通信：SECS / GEM;

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