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浙江省嘉興市海寧市海寧経済開発区双聯路129号
エッジLOT膜除去エッチング機
製品概要
エピタキシャルウェーハの成長を促進するために、シリコンウェハーのエッジでLTOをエッチングおよび除去するために使用されます。
製品紹介
製品仕様：
1.適用範囲：8インチ/ 12インチシリコンウェハー
2.生産能力：バッチエッチング、バッチあたり25個、生産能力はエッチングの厚さに基づいています。
3.取り扱い方法：PFAカセット/マニュアル;
中企跨境-全域组件 1.92
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